Монография обобщает теоретические и экспериментальные данные о растворимости, миграции и взаимодействиях практически всех легирующих примесей в монокристаллах и полупроводниках. Проанализированы стояние и оведение водородоподобных примесей, d- и /-примесей, газообразующих, амфотерных и изовален тных примесей. Рассмотрены энергетические уровни, их заполнение электронами, термодинамика и кинетика растворимости, комплексообразования, диффузии, электронно-фононных и примесно-вакансионных взаимодействий.
Для научных и инженерно-технических ра

Атомы легирующих примесей в полупроводниках (состояние и поведение)