Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Код: 465959
Автор: Берлин Е.В., Сейдман Л.А. →
Издательство: Техносфера →
ISBN: 978-5-94836-222-9
Серия: Мир материалов и технологий →
Страниц: 528
Вес: 0.85 кг
Год издания: 2010
Переплет: твердый