Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование Учебно-справочное руководство

Код: 908359
Автор: Киреев В.Ю. →
Издательство: Интеллект ООО →
ISBN: 978-5-91559-215-4
Страниц: 320
Вес: 0.5 кг
Год издания: 2016
Переплет: мягкий